微流控芯片的發(fā)展歷史最早可以追溯到1975年，Terry等人在一塊硅片上加工出了一種氣相色譜芯片，它由一個注液閥門和一個1.5m長的分離柱組成，

能在幾秒鐘內(nèi)對混合物進(jìn)行分離。但是由于當(dāng)時分離技術(shù)相對落后以及缺乏對類似器件的操作經(jīng)驗(yàn)，整個科學(xué)界對這項(xiàng)劃時代的工作響應(yīng)寥寥。

直到1990年，瑞士科學(xué)家Manz與Widmer首次提出了微全分析系統(tǒng)(Micro-Total Analytical System，μTAS)概念，當(dāng)時這一概念是作為一種新

型的化學(xué)傳感器提出來的，其目的是為了提高分析能力而不是減小尺寸，但這個概念被提出之后，研究者們很快意識到器件尺寸的減小會帶來很多的好處。

自1992年開始，以毛細(xì)管電泳為主要應(yīng)用對象的各種微流控芯片相繼開發(fā)成功，從此科學(xué)界和產(chǎn)業(yè)界都紛紛介入到這一新興領(lǐng)域的研發(fā)，

研究者們開始對μTAS的各個相關(guān)領(lǐng)域進(jìn)行了更加系統(tǒng)深入的研究，許多國家投入巨資支持μTAS的基礎(chǔ)與應(yīng)用研究，同時各種新方法、新工藝、新材料也

不斷地獲得開發(fā)和應(yīng)用，許多世界著名儀器公司包括安捷倫、島津、日立等都有相應(yīng)的產(chǎn)品和系統(tǒng)投入市場。

      為了促進(jìn)微全分析系統(tǒng)各研究領(lǐng)域的學(xué)者進(jìn)行交流，首屆國際微全分析系統(tǒng)學(xué)術(shù)會議于1994年在荷蘭Enschede舉行；我國于2002年7月在北京舉行了首屆

全國微全分析系統(tǒng)會議，并于2004年4月將在杭州舉行第二屆會議，這一切都表明微全分析系統(tǒng)的研究已經(jīng)進(jìn)入了一個飛速發(fā)展的階段。Forbs(《福布斯》)

雜志將微流控芯片技術(shù)列為15件影響人類未來的最重要的發(fā)明之一。最近德國《經(jīng)濟(jì)周刊》在預(yù)測2004年有可能引起人們生活發(fā)生重大改變的十項(xiàng)實(shí)用新技

術(shù)時表明：醫(yī)學(xué)診斷型生物芯片位居第七位，其在2002年的市場銷售額為10億歐元，預(yù)計2005年銷售額將達(dá)30億歐元，至此，微流控芯片技術(shù)作為本世紀(jì)

最重要的前沿技術(shù)之一逐漸被認(rèn)可。