1.烘膠臺/烤膠機(jī)產(chǎn)品簡介

WH-HP-01烘膠臺是蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司獨立開發(fā)，具有獨立知識產(chǎn)權(quán)，可以用于光刻工藝中的前烘、中烘和后烘。該設(shè)備采用PID控溫系統(tǒng)自動測溫控溫，并具有兩段式自動升溫、烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點，可長時間持續(xù)穩(wěn)定工作。

WH-HP-01是一款緊湊且易于使用的光刻熱板。它用于光刻工藝的預(yù)烘烤，后烘烤和硬烘烤。該產(chǎn)品具有較高的烘烤速度，均勻性，較高的溫度控制精度和高度可重復(fù)的實驗結(jié)果。烘烤控制設(shè)計用于預(yù)烘烤，后烘烤和硬烘烤，以進(jìn)行光蝕刻過程。

WH-HP-01熱板與KW-4A旋涂機(jī)或WH-SC-01旋涂機(jī)一起使用，是在硅片或其他基板上制造金屬氧化物薄膜、聚合物涂層和金屬有機(jī)薄膜的理想工具。與傳統(tǒng)烤箱相比，使用加熱板固化薄膜將減少烘烤時間，提高可重復(fù)性，并獲得更均勻和更好的薄膜質(zhì)量。這是因為WH-HP-01在整個基材上具有均勻的溫度曲線，并為薄膜和涂層提供均勻的加熱。因為薄膜/涂層是從下往上加熱的，所以可以避免皮膚效應(yīng)。 

烤膠機(jī)（英文名：Hot Plate）又名烘膠臺，烤膠臺，加熱平臺，烤膠板，熱臺，熱板等用途可在光刻工藝中的涂膠后的軟烘，暴光后烘，顯影后的堅膜，磨片粘片熔臘等。產(chǎn)品采用整體鑄造，加熱板作為加熱體，增強(qiáng)了設(shè)備的安全性。采用單片機(jī)作為控制核心部件，有極高精準(zhǔn)的控溫精度，緊湊美觀。該設(shè)備對一些溫度敏感材料（如晶體、半導(dǎo)體、陶瓷等）進(jìn)行加熱和裝卡尤為適用。該設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便，安全可靠，是從事半導(dǎo)體熱處理、材料研究生產(chǎn)、溫度干燥試驗等必不可少的工具。

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2.烘膠臺/烤膠機(jī)技術(shù)參數(shù)

	正常溫度：室溫-300℃
	極限溫度：350℃
	持續(xù)烘膠時間：15min以內(nèi)為宜
	控溫精度：±1℃
	溫度均勻性：＜±3%
	烘膠板規(guī)格：φ200
	參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)
	控溫形式：PID控溫系統(tǒng)
	電源輸入：AC220V±10V,50HZ
	功率：1000W
	重量：16kg
	外形尺寸：365*280*156mm

3.烘膠臺/烤膠機(jī)特征圖解

①觀察窗 ②蓋板 ③烘膠板 ④觸摸屏 ⑤電源插孔 ⑥通風(fēng)孔

烘膠臺溫度測試數(shù)據(jù)表：

裝箱清單：

烘膠臺視頻指導(dǎo)

注：清點包裝箱內(nèi)的附件和印刷資料，箱內(nèi)的附件和資料請按照裝箱清單對照檢查。

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