在電子工業(yè)清洗大致可分為兩種：濕法清洗和干法清洗。濕法清洗已經(jīng)在電子工業(yè)生產(chǎn)中廣泛應(yīng)用，但是濕法清洗過程中所產(chǎn)生的污染和有毒化學(xué)劑對環(huán)境的危害成為令人困擾的難題。相對而言，干法清洗在這方面有很大的優(yōu)勢，其中特別以等離子清洗技術(shù)為例已逐步在半導(dǎo)體、電子組裝、精密機(jī)械、醫(yī)療等行業(yè)廣泛應(yīng)用。

濕法清洗主要是依靠物理和化學(xué)溶劑的作用，如在化學(xué)性劑需吸附、浸透、溶解、散離作用下輔以超聲波、噴淋、旋轉(zhuǎn)、沸騰、蒸汽搖動等物理作用下去污。與濕法清洗不同等離子體清洗機(jī)的機(jī)理是依靠處于“等離子態(tài)”的物質(zhì)的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。從目前各類清洗方法中看，可能等離子體清洗也是所有清洗方法中最為徹底的剝離式清洗。

等離子清洗技術(shù)和濕法清洗比較：
（1）濕法化學(xué)清洗時間和化學(xué)溶劑對工藝靈敏，等離子清洗工藝過程更容易控制。
　?。?/span>2）去除油污及氧化物等工藝時，濕法化學(xué)清洗需要進(jìn)一步去除及處理或需要多次清洗，而等離子清洗只要一次，基本無殘留物。

（3）濕法化學(xué)清洗后大量的廢物還要需要進(jìn)一步處理，這樣也耗費(fèi)更多的時間和人力，但是等離子清洗反應(yīng)副產(chǎn)物為氣體，在通過真空系統(tǒng)及中和器可直接排放到大氣中。
　?。?/span>4）關(guān)于毒性：濕法化學(xué)清洗溶劑和酸有相當(dāng)高的毒性，而等離子清洗反應(yīng)所需氣體大多無毒，工作人員使用等離子清洗很久也不會對身體產(chǎn)生危害。

等離子清洗技術(shù)較常規(guī)化學(xué)清洗具有若干優(yōu)勢，等離子由于使用電能催化化學(xué)反應(yīng)而不是熱能，因此提供了一個低溫環(huán)境。等離子排除了由濕式化學(xué)清洗帶來的危險(xiǎn)，并且與其他清洗相比清洗后無廢液。如今等離子清洗技術(shù)應(yīng)用的領(lǐng)域越來越廣泛，發(fā)展前景十分廣闊，同時為各行各業(yè)解決了許多難題。

等離子清洗機(jī)清洗原理

等離子清洗機(jī)也叫等離子表面處理儀，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。

　　等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。

　　等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

　　等離子清洗機(jī)原理：

　　等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。

使用等離子清洗機(jī)的好處

 等離子清洗機(jī)由真空腔體以及高頻率的等離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng)等等部分組成。被廣泛的使用在各種的清新處理行業(yè)當(dāng)中。

1、環(huán)保

　　等離子體起到作用的過程時氣到固體的相干式的，過程中不消耗水資源，也不需要添加化學(xué)藥劑，對于周圍的環(huán)境沒有污染。

2、廣泛性

　　使用等離子清洗機(jī)一般是不分處理對象的基本材料類型，都可以進(jìn)行處理，對于金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，例如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺甚至是聚四氟乙烯等等都可以得到很好的處理，并且可以實(shí)現(xiàn)整體以及局部以及負(fù)責(zé)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行清洗處理。

3、功能性強(qiáng)

　　等離子清洗機(jī)不僅涉及道路高分子材料淺表面，可以在保持材料自身特性的同時，有賦予了一種或者多種的新功能。

4、溫度低

　　等離子清洗機(jī)接近常溫，特別適合用于高分子材料，比使用電暈已經(jīng)火焰的方法有很長的保存時間和比較的表面處理張力。

5、成本低

　　等離子處理裝置簡單，易于操作和維修，可以連續(xù)的運(yùn)行，往往幾瓶的等離子氣體就可以代替數(shù)千公斤的清洗液，因此清洗的成本會大大的降低與濕法清洗。

6、全稱可控工藝

　　等離子清洗機(jī)幾乎所有的參數(shù)都可以由電腦設(shè)置和數(shù)據(jù)記錄，進(jìn)行質(zhì)量控制。

7、處理物的幾何形狀無限制

　　使用等等離子清洗機(jī)處理的物體，其或大或小，形狀簡單或者復(fù)雜，部件或紡織品都可以進(jìn)行處理。