微流控芯片具有微型化、集成化、高效、快速、極少的試劑消耗量和成本低等優(yōu)點,被廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學、疾病診斷治療、環(huán)境檢測與保護、軍事和太空探索等眾多領(lǐng)域。微閥作為微流控芯片的關(guān)鍵執(zhí)行部件,是讓芯片通道內(nèi)流體流動起控制限流作用的器件,其作用是實現(xiàn)流體通道的開啟、閉合以及流體流向的切換。它在微流控系統(tǒng)中的作用,相當于二極管在集成電路中的作用一樣,是微流控系統(tǒng)最重要的部件之一。微閥的發(fā)展是微流控系統(tǒng)發(fā)展水平的一個重要標志,微閥的研究已成為目前微流控系統(tǒng)研究中最為活躍的一個分支。

微閥可歸為兩大類：主動微閥和被動微閥。

根據(jù)驅(qū)動原理的不同將主動微閥分為機械微閥、非機械微閥和帶有外部驅(qū)動系統(tǒng)的微閥三大類。

近年來,微閥的發(fā)展十分迅速,基于各種不同設(shè)計結(jié)構(gòu)和原理的微閥已相繼得到報道,微閥的性能也得到了很大的提高,比如微閥的反向泄漏、死體積、響應(yīng)時間、生物兼容性及成本等都得到了一定程度的改善，但同時目前微閥的商業(yè)化程度仍不高,仍有很多問題需要解決，主要包括以下2點：

常規(guī)的微閥器件通常采用玻璃、硅片等材料為基底，利用硅微細加工工藝（比如光刻、刻蝕等）加工而成，對加工設(shè)備和原材料要求高，加工成本較高；

微閥結(jié)構(gòu)較為復雜，通常為非平面的多層立體結(jié)構(gòu)，需采用多層硅鍵合工藝加工而成，工藝繁瑣復雜，加工周期較長。更為重要的是這種非平面的微閥結(jié)構(gòu)不易集成于微流控系統(tǒng)中，增加了微流控系統(tǒng)的集成化難度。因此開展新型微閥的研究，簡化微閥的結(jié)構(gòu)和制作工藝，降低成本和集成化難度，對微流控芯片的發(fā)展具有重要的意義。

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